株式会社PARAT

よくあるご質問

装置 に関するご質問

Z軸近傍移動距離とは?

Z軸が上昇・下降時に基板の近傍上昇・下降速度で移動する区間です。
この区間ではZ軸のロックが外れ、エアサスペンションユニット(Fit)のエアーサスペンションが有効になります。